牛津電子束鍍膜機(jī)采用電子束加熱，不用坩堝上的片作為蒸發(fā)源，可以穩(wěn)定地形成多層薄膜；利用我公司*的比例控制方法和多點(diǎn)在線監(jiān)測(cè)，可以形成高精度、穩(wěn)定的光學(xué)多層膜；可以使用可操作性好的電梯來(lái)取出基板傘架。
電子束蒸發(fā)系統(tǒng)是化合物半導(dǎo)體器件制作中的一種重要工藝技術(shù)；它是在高真空狀態(tài)下由電子束加熱坩堝中的金屬，使其熔融后蒸發(fā)到所需基片上形成金屬膜。
牛津電子束鍍膜機(jī)采用均勻分布的高離子電流密度離子源，配備雙電子槍，可在多點(diǎn)和環(huán)形坩堝中鍍100層以上，采用自動(dòng)蒸發(fā)控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)蒸發(fā)過(guò)程，工件架可以是鐘罩式或行星式。
電子束鍍膜機(jī)薄膜測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)：
1.初始接觸角范圍為115°±5°；
2.鋼絲絨摩擦阻力測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)：使用0000#鋼絲絨，面積10*10mm，行程40次/min，負(fù)載1Kg，往返摩擦5000次后接觸角大于100°；
3.皮擦測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)：直徑6mm皮擦，行程25次/min，負(fù)載1Kg，往返摩擦2500次后接觸角大于100°；
備注：試樣的玻璃應(yīng)是經(jīng)過(guò)拋光的觸摸屏蓋板專用玻璃，表面光滑。
牛津電子束鍍膜機(jī)優(yōu)點(diǎn)：
1.提高沉積速率以獲得更高的產(chǎn)量；
2.在半導(dǎo)體、光電子和光子學(xué)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)高精度工藝；
3.堅(jiān)固耐用，易于維護(hù)。
