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| 品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,包裝/造紙/印刷,電氣 |
技術規格：
- 基底尺寸：3英寸，4英寸，6英寸；
- 基底旋轉：0~10rpm；
- 電子束源：Telemark電子束源，單袋或多袋電子束源可選；
- 熱蒸發源：多配置2套熱蒸發舟(選配)；
- 腔體：不銹鋼或石英腔體可供客戶選擇；
- 泵：前級干泵，分子泵；
- Load Lock樣品傳輸腔室：手動或自動傳輸，高真空，支持多種樣品襯底(選配)；
- 工藝控制：PC/PLC機制的自動控制、數據處理、遠程支持；
- 原位監控：石英晶振監測(QCM)，光學監測，殘余氣體分析，其他原位監測技術或控制；
- 襯底固定：單襯底固定，客戶化襯底固定方式；
- 襯底夾具：加熱，冷卻，偏置，旋轉等；
