原子層沉積(ALD)系統(tǒng)通過(guò)分子層級(jí)的逐層沉積，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)薄膜的精準(zhǔn)控制。其核心原理基于化學(xué)反應(yīng)的“自限性”，通過(guò)交替引入兩種或多種前驅(qū)體，在基材表面逐層構(gòu)建薄膜。以下為實(shí)現(xiàn)納米級(jí)薄膜精準(zhǔn)控制的3大技術(shù)突破：
1. 自限制反應(yīng)機(jī)制：原子級(jí)精度與均勻性的基石
ALD的核心在于自限制反應(yīng)，每次沉積僅添加一個(gè)原子層。具體過(guò)程包括：
前驅(qū)體吸附：將含有目標(biāo)元素的前驅(qū)體引入反應(yīng)室，前驅(qū)體分子在基材表面發(fā)生化學(xué)吸附，形成單分子層。
吹掃：用惰性氣體(如氮?dú)饣驓鍤?清除未吸附的前驅(qū)體和副產(chǎn)物，確保僅剩化學(xué)吸附的分子。
反應(yīng)：引入第二種前驅(qū)體，與已吸附分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成所需的薄膜層，同時(shí)釋放出氣相副產(chǎn)物。
循環(huán)重復(fù)：通過(guò)重復(fù)上述步驟，逐層構(gòu)建薄膜，確保每個(gè)循環(huán)的沉積厚度恒定。
這種自限制反應(yīng)機(jī)制使得ALD能夠在復(fù)雜的三維結(jié)構(gòu)上實(shí)現(xiàn)均勻沉積，臺(tái)階覆蓋能力(Step Coverage)超過(guò)95%，適用于高深寬比結(jié)構(gòu)(如3D NAND存儲(chǔ)器)的制造。
2. 工藝參數(shù)優(yōu)化：提升沉積速率與薄膜質(zhì)量
ALD的工藝參數(shù)(如溫度、壓力、前驅(qū)體脈沖時(shí)間等)對(duì)薄膜的生長(zhǎng)速率和質(zhì)量有顯著影響。通過(guò)優(yōu)化這些參數(shù)，可以實(shí)現(xiàn)高效量產(chǎn)與高質(zhì)量薄膜的平衡。
溫度控制：ALD通常在較低溫度下進(jìn)行(如50-350°C)，以避免高溫對(duì)材料的損害。溫度的精確控制可以確保前驅(qū)體的揮發(fā)性和反應(yīng)速率，從而維持自限制反應(yīng)的有效性。
前驅(qū)體選擇與輸送：前驅(qū)體的揮發(fā)性、熱穩(wěn)定性和反應(yīng)性需足夠高，且需與基材表面具有反應(yīng)性。通過(guò)優(yōu)化前驅(qū)體的輸送系統(tǒng)(如蒸汽牽引、輔助載氣等)，可以確保前驅(qū)體的均勻分布和適量供給。
脈沖時(shí)間與吹掃時(shí)間：前驅(qū)體脈沖時(shí)間和吹掃時(shí)間需精確控制，以確保反應(yīng)和去除副產(chǎn)物。過(guò)短的脈沖時(shí)間或吹掃時(shí)間可能導(dǎo)致雜質(zhì)摻入或CVD反應(yīng)(即前驅(qū)體和共反應(yīng)物分子在氣相或表面發(fā)生反應(yīng))，影響薄膜的保形性和均勻性。
3. 新型ALD技術(shù)：拓展應(yīng)用領(lǐng)域與提升效率
隨著技術(shù)的不斷發(fā)展，新型ALD技術(shù)不斷涌現(xiàn)，進(jìn)一步拓展了其應(yīng)用領(lǐng)域并提升了沉積效率。
空間ALD(Spatial ALD)：通過(guò)分區(qū)控溫設(shè)計(jì)，優(yōu)化反應(yīng)環(huán)境，避免局部過(guò)熱導(dǎo)致反應(yīng)失控。空間ALD可以在連續(xù)流動(dòng)的系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)高效沉積，適用于大面積制造。
等離子體增強(qiáng)ALD(PEALD)：結(jié)合等離子體技術(shù)，增強(qiáng)前驅(qū)體的反應(yīng)活性，使得某些原本不活潑的反應(yīng)能夠在較低溫度下進(jìn)行。PEALD在制備高質(zhì)量薄膜、處理復(fù)雜結(jié)構(gòu)和提高沉積速率方面具有顯著優(yōu)勢(shì)。
粉末ALD：針對(duì)粉末材料的高比表面積和松散堆積特性，采用流化床或旋轉(zhuǎn)床反應(yīng)器，利用氣體流動(dòng)使粉末持續(xù)運(yùn)動(dòng)，增加顆粒間碰撞幾率，減少陰影效應(yīng)，確保沉積均勻性。
