全自動變溫霍爾效應(yīng)測試儀是表征半導(dǎo)體材料的基本工具。結(jié)合相關(guān)材料電阻率測量，霍爾效應(yīng)分析測量方法確定一個重要的半導(dǎo)體復(fù)合材料質(zhì)量特性，例如電荷載流子極性、電荷載流子濃度和電荷載流子遷移率。霍爾效應(yīng)進行電壓通過測量的挑戰(zhàn)主要在于它們的量非常小，例如微伏，甚至可以更低。如果半導(dǎo)體材料具有高電阻率和/或低載流子遷移率，在這些低電壓下，電平誤差項可能具有重要的數(shù)量級，影響測量的霍爾電壓。對于霍爾效應(yīng)進行測量，誤差項來自中國多個數(shù)據(jù)來源，包括與樣品組織結(jié)構(gòu)和樣品幾何形狀設(shè)計相關(guān)的誤差、金屬連接中的固有誤差，以及企業(yè)對于我們一個標(biāo)準(zhǔn)樣品而言，由非理想樣品幾何形狀可以引起的電壓誤差和熱電誤差。本技術(shù)描述將描述這些誤差中很常見的誤差，并推薦解決這些誤差以消除或極小化高質(zhì)量霍爾效應(yīng)測量中的誤差的方法。
霍爾棒為產(chǎn)生霍爾效應(yīng)研究提供了更理想的幾何測量，因為我們這種不同類型的結(jié)構(gòu)設(shè)計能夠可以通過網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)的長軸實現(xiàn)恒定的電流密度。
在這種情況下，測試樣本必須具有允許將測試樣本連接到全自動變溫霍爾效應(yīng)測試儀以進行所需特性測量的霍爾測量。需要連接到服務(wù)器樣本，并且我們每個連接都會影響產(chǎn)生直接接觸電阻。保持盡可能低的接觸電阻和歐姆將減少接觸電阻對電阻測量的影響。歐姆意味著線性接觸遵守歐姆定律。金屬-半導(dǎo)體連接或接口技術(shù)具有肖特基二極管特性，這使得企業(yè)獲得歐姆接觸社會成為我國一項任務(wù)艱巨的挑戰(zhàn)，將低歐姆接觸的電阻與樣品電阻產(chǎn)生的電阻的電阻水平進行比較，很小測量誤差由非線性分量組成，這種聯(lián)系是微不足道的，高接觸電阻會導(dǎo)致樣品自熱和熱誤差電壓增加，對于固定的激勵電流，低接觸電阻會導(dǎo)致導(dǎo)線上的電壓測量值更高。
幾種接觸沉積方法包括：
1.使用金屬基涂料和漿料；
2.直接在半導(dǎo)體表面熔化金屬；
3.蒸發(fā)濺射；
4.分子束外延；
5.離子注入。
一旦接觸材料沉積在半導(dǎo)體表面上，就可以通過常規(guī)烘箱、激光、電子束或快速加熱爐對接觸進行熱退火。一種使用鹵素?zé)魧雽?dǎo)體快速加熱到退火溫度并保持溫度在 10 到 30 秒的退火工藝。
全自動變溫霍爾效應(yīng)測試儀無論使用何種沉積技術(shù)，對細節(jié)的關(guān)注和良好的技術(shù)都會限度地減少非歐姆效應(yīng)。確保樣品觸點質(zhì)量的四個具有重要方面考慮影響因素主要包括連接工藝的選擇、觸點材料的選擇、觸點的放置和樣品結(jié)構(gòu)設(shè)計以及通過連接的穩(wěn)定性。
